一种砷化镓晶体生长用石英坩埚的制作方法

    技术2023-10-14  135


    本实用新型涉及砷化镓制备装置技术领域,具体涉及一种砷化镓晶体生长用石英坩埚。



    背景技术:

    砷化镓是半导体材料中,兼具多方面优点的材料,但用它制作的晶体三极管的放大倍数小,导热性差,不适宜制作大功率器件。用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。在砷化镓制备过程中,多采用石英坩埚作为反应容器,同时在制备过程中需要对利用加热组件对石英坩埚外壁进行升温处理并进行温度调节,由于现有加热组件多为局部式温度调节,在砷化镓制备过程中需要调节石英坩埚的高度以配合制备温度的调节。

    目前市面上的石英坩埚的结构单一化,在制备过程中不便于调节加热位置,操作难度较大,同时在砷化镓晶体制造完毕后,不便于对留存在坩埚内部的物料取出,实用性不足。



    技术实现要素:

    本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,以解决现有技术中目前的市面上的技术问题。本实用新型提供的诸多技术方案中优选的技术方案通过设置在导向槽内部的取料组件,晶体在制备过程中包覆在取料组件外部,便于操作人员通过承托环将砷化镓晶体从坩埚本体内部取出,提升砷化镓晶体的收集效率等技术效果,详见下文阐述。

    为实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:

    本实用新型提供的一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,包括坩埚本体和顶盖,所述坩埚本体顶部加工成型有环形的外翻边,所述顶盖套装在所述坩埚本体上方,所述顶盖上方设置有提手,所述坩埚本体内壁加工成型有至少两个导向槽,所述顶盖下方设置有对应所述导向槽的取料组件;

    所述取料组件包括连接螺钉、若干个竖直布置的连接杆和承托环,所述连接杆固定安装在所述顶盖下表面,所述承托环设置在所述连接杆底端,且通过所述连接螺钉与所述连接杆固定连接。

    采用上述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,制备时,砷化镓晶体生长进入导向槽内部,且包覆在连接杆和承托环周围构成一矩形块,取出时,操作人员竖直向上拉动所述提手,使得顶盖与坩埚本体分离,并通过承托环带动粘结在连接杆外壁上的砷化镓晶体块提升,直至砷化镓柱体从坩埚本体内部脱出,而后操作人员将砷化镓晶体块内部的连接螺钉从螺纹孔内旋出,从而将连接杆从砷化镓晶体块内部取出,将砷化镓柱体取下。

    作为优选,所述导向槽的数量共有四个,沿所述坩埚本体内壁周向布置。

    作为优选,所述提手外壁上套装有防烫包覆层。

    作为优选,所述顶盖外壁上加工成型有防滑纹路。

    作为优选,所述连接杆的数量共有四个,呈圆周阵列布置在所述顶盖下表面,所述连接杆底端和所述承托环内部均开设有配合所述连接螺钉进行固定的螺纹孔。

    作为优选,所述连接螺钉和所述连接杆采用铜钨合金作为制造材料。

    有益效果在于:通过设置在导向槽内部的取料组件,晶体在制备过程中包覆在取料组件外部,便于操作人员通过承托环将砷化镓晶体从坩埚本体内部取出,提升砷化镓晶体的收集效率。

    附图说明

    为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

    图1是本实用新型的主视图;

    图2是本实用新型的俯视图;

    图3是本实用新型的提升组件的局部放大图。

    附图标记说明如下:

    1、取料组件;101、连接螺钉;102、连接杆;103、承托环;2、坩埚本体;3、外翻边;4、提手;5、防烫包覆层;6、顶盖;7、导向槽。

    具体实施方式

    为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本实用新型所保护的范围。

    参见图1-图3所示,本实用新型提供了一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,包括坩埚本体2和顶盖6,坩埚本体2顶部加工成型有环形的外翻边3,外翻边3采取环装设计,能够配合外部提升装置进行固定,便于操作人员调节坩埚本体2的位置,提升移动效率,顶盖6套装在坩埚本体2上方,顶盖6外壁上加工成型有防滑纹路,这样设置能够便于操作人员操作顶盖6转动,顶盖6上方设置有提手4,提手4为u型结构,且其两底脚与顶盖6卡接固定,提手4外壁上套装有防烫包覆层5,这样设置能够避免操作人员在移动设备时烫伤,提升装置的使用安全性,坩埚本体2内壁加工成型有至少两个导向槽7,导向槽7的数量共有四个,沿坩埚本体2内壁周向布置,这样设置能够增加砷化镓晶体取出时的稳定性,导向槽7根据砷化镓生长量设置,最终生成的砷化镓产物顶面高度需高于导向槽7底面高度,这样设置能够便于砷化镓晶体在导向槽7内部形成矩形块,包覆在连接杆102和承托环103外侧,便于拉动提手4带动砷化镓晶体从坩埚本体2内部取出,顶盖6下方设置有对应导向槽7的取料组件1;取料组件1包括连接螺钉101、若干个竖直布置的连接杆102和承托环103,连接杆102通过螺纹安装在顶盖6下表面,承托环103设置在连接杆102底端,且通过连接螺钉101与连接杆102固定连接,连接杆102的数量共有四个,呈圆周阵列布置在顶盖6下表面,连接杆102底端和承托环103内部均开设有配合连接螺钉101进行固定的螺纹孔,承托环103内部开设有用于连接杆102穿过的通孔,连接杆102穿过通孔且端部伸入连接杆102底端的螺纹孔内部,连接螺钉101和连接杆102采用铜钨合金作为制造材料,铜钨合金的熔点较高,远超过制备砷化镓晶体时的反应温度,在砷化镓晶体制备时不会受热融化且形变程度低,性状稳定不与制备原料反应,便于配合操作人员在砷化镓晶体制备后取出。

    采用上述结构,通过设置在导向槽7内部的取料组件1,晶体在制备过程中包覆在取料组件1外部,便于操作人员通过承托环103将砷化镓晶体从坩埚本体2内部取出,提升砷化镓晶体的收集效率。

    以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。


    技术特征:

    1.一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:包括坩埚本体(2)和顶盖(6),所述坩埚本体(2)顶部加工成型有环形的外翻边(3),所述顶盖(6)套装在所述坩埚本体(2)上方,所述顶盖(6)上方设置有提手(4),所述坩埚本体(2)内壁加工成型有至少两个导向槽(7),所述顶盖(6)下方设置有对应所述导向槽(7)的取料组件(1);

    所述取料组件(1)包括连接螺钉(101)、若干个竖直布置的连接杆(102)和承托环(103),所述连接杆(102)固定安装在所述顶盖(6)下表面,所述承托环(103)设置在所述连接杆(102)底端,且通过所述连接螺钉(101)与所述连接杆(102)固定连接。

    2.根据权利要求1所述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:所述导向槽(7)的数量共有四个,沿所述坩埚本体(2)内壁周向布置。

    3.根据权利要求1所述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:所述提手(4)外壁上套装有防烫包覆层(5)。

    4.根据权利要求1所述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:所述顶盖(6)外壁上加工成型有防滑纹路。

    5.根据权利要求1所述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:所述连接杆(102)的数量共有四个,呈圆周阵列布置在所述顶盖(6)下表面,所述连接杆(102)底端和所述承托环(103)内部均开设有配合所述连接螺钉(101)进行固定的螺纹孔。

    6.根据权利要求1所述一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,其特征在于:所述连接螺钉(101)和所述连接杆(102)采用铜钨合金作为制造材料。

    技术总结
    本实用新型公开了一种砷化镓晶体生长用石英坩埚,包括坩埚本体和顶盖,所述坩埚本体顶部加工成型有环形的外翻边,所述顶盖套装在所述坩埚本体上方,所述顶盖上方设置有提手,所述坩埚本体内壁加工成型有至少两个导向槽,所述顶盖下方设置有对应所述导向槽的取料组件;所述取料组件包括连接螺钉、若干个竖直布置的连接杆和承托环,所述连接杆固定安装在所述顶盖下表面,所述承托环设置在所述连接杆底端,且通过所述连接螺钉与所述连接杆固定连接。有益效果在于:通过设置在导向槽内部的取料组件,晶体在制备过程中包覆在取料组件外部,便于操作人员通过承托环将砷化镓晶体从坩埚本体内部取出,提升砷化镓晶体的收集效率。

    技术研发人员:代晓波
    受保护的技术使用者:独山中科晶元信息材料有限公司
    技术研发日:2019.05.31
    技术公布日:2020.03.31

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