本实用新型涉及靶材材料制备技术领域,尤其涉及一种气雾化制粉设备。
背景技术:
靶材是磁控溅射中的溅射源。薄膜太阳能电池芯片制备中采用的靶材通常采用在靶材背衬管上喷涂合金粉末的方式制得,而靶材所用合金粉末一般通过气雾化制粉工艺制备。
现有技术中,在采用气雾化制粉设备制粉后,需要对气雾化制粉设备制得的粉末进行收集,收集时雾化的粉末先从雾化腔的出料口垂直下落,之后进入锥形斗(在锥形斗内下落过程中粉末会有一定程度冷却),最后下落至收集料斗内。然而,在雾化的粉末从雾化腔的出料口垂直下落过程中会有部分粉末残留并附着在锥形斗的内侧壁上,这样导致附着在锥形斗的内侧壁上的粉末含铁量增大而无法作为合格品被收集,使得雾化制粉的产率降低,且残留在锥形斗的内侧壁上的粉末不易清理,需要雾化结束后将锥形斗拆卸下来进行清理,使得雾化制粉的人力和时间成本较高。
技术实现要素:
为了解决上述技术问题,本实用新型实施例提供了一种收集料斗和雾化制粉设备,以解决现有技术中雾化制粉设备制得的粉末残留并附着在锥形斗内侧壁导致雾化制粉的产率降低且不易清理的问题。
本实用新型实施例的一种气雾化制粉设备,包括雾化腔、与所述雾化腔的出料口相连通的锥形斗以及与所述锥形斗的出料口相连通的收集料斗,
所述气雾化制粉设备还包括:粉末清扫装置,所述粉末清扫装置包括风刀,所述风刀设置于所述雾化腔与所述锥形斗的连接部内,所述风刀用于将所述锥形斗的内侧壁上附着的粉末吹起以使所述粉末下落至所述收集料斗内。
本实用新型实施例的气雾化制粉设备包括粉末清扫装置,该粉末清扫装置的风刀设置在雾化腔与锥形斗的连接部内,通过风刀能够将锥形斗的内侧壁上附着的粉末吹起以使粉末下落至收集料斗内,这样附着在锥形斗的内侧壁上的粉末能够被及时清理并收集,提高雾化制粉的产率,且无需额外的清理锥形斗的内侧壁上的粉末的工作,使得雾化制粉的人力和时间成本降低。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案,并不构成对本实用新型技术方案的限制。
图1为本实用新型的气雾化制粉设备的一些实施例的结构示意图;
图2为图1中a区域的一些实施例的放大示意图;
图3为本实用新型的气雾化制粉设备的风刀的一些实施例的结构示意图;
图4为图1中a区域的另一些实施例的放大示意图。
附图标记说明:
100-气雾化制粉设备;200-粉末;
1-雾化腔;2-锥形斗;
3-收集料斗;4-粉末清扫装置;
41-风刀;411-风刀管;
4111-第一壳体部;4112-第二壳体部;
412-出风口;413-进气口;
42-进气管;43-气体流量控制器;
44-调节阀;45-主气管道;
5-连接部;6-导流管。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本本实用新型实施例的附图,对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
另外,需要说明的是,本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参见图1所示,图中示出了本实用新型一些实施例提供的气雾化制粉设备的结构示意图。本实用新型实施例提供的一种气雾化制粉设备100,包括雾化腔1、与雾化腔1的出料口11相连通的锥形斗2以及与锥形斗2的出料口21相连通的收集料斗3,该气雾化制粉设备100还包括:粉末清扫装置4,粉末清扫装置4包括风刀41,风刀41设置于雾化腔1与锥形斗2的连接部5内,风刀41用于将锥形斗2的内侧壁上附着的粉末200吹起以使粉末200下落至收集料斗3内。
下面对上述实施例所提及的气雾化制粉设备100的结构进行简单说明,以便于更好的理解本实施例所公开的技术内容。
本实施例中,风刀41设置于雾化腔1与锥形斗2的连接部5内,该连接部5为图1中虚线所示区域,该连接部5包括雾化腔1的出料口和锥形斗2的进料口。雾化腔1为圆柱形,雾化得到的粉末200经雾化腔1的出料口下落入锥形斗2内,下落入锥形斗2内的粉末不同程度的附着在锥形斗2的内侧壁的不同位置上,将风刀41设置在该连接部5内能够从锥形斗2的进料口向锥形斗2的出料口清扫粉末200,使得清扫的范围更大。需要说明的是,本实施例中风刀41还可以设置在锥形斗2内的其他位置,例如:风刀41设置在锥形斗2的内侧壁的中部,只要能实现清扫锥形斗2的内侧壁上附着的粉末200皆可,在此不一一举例说明。
另外,本实施例中风刀41的数量可以为一个或多个,当多个风刀41时,可以将多个风刀41设置在锥形斗2的内侧壁上的不同位置,例如:风刀41的数量为两个,一个风刀41设置于锥形斗2的进料口,另一个风刀41设置在锥形斗2的内侧壁的中部,以提高粉末清扫效率,当然本实施例中风刀41的数量还可以为其他数值,在此不一一举例说明。需要说明的是,本实施例对风刀41的具体结构也不做具体限定,只要能够清扫锥形斗2的内侧壁上附着的粉末皆可。
因此,本实用新型实施例的气雾化制粉设备100包括粉末清扫装置4,该粉末清扫装置4的风刀41设置在雾化腔1与锥形斗2的连接部5内,通过风刀41能够将锥形斗2的内侧壁上附着的粉末200吹起以使粉末200下落至收集料斗3内,这样附着在锥形斗2的内侧壁上的粉末200能够被及时清理并收集,提高雾化制粉的产率,且无需额外的清理锥形斗2的内侧壁上的粉末200的工作,使得雾化制粉的人力和时间成本降低。
在一些实施例中,如图2和图3所示,风刀41包括风刀管411,风刀管411为环形管道且设置于连接部5的内侧壁上。
本实施例中风刀41的风刀管411为环形,设置在连接部的内侧壁上,这样风刀管411能够整个围绕连接部设置以清扫整个锥形斗2的内侧壁,且风刀管411为环形与锥形斗2的截面形状一致,更容易安装。当然,本实施例中风刀管411还可以为其他形状,例如:弧形,通过设置多个弧形的风刀管411也可以实现清扫整个锥形斗2的内侧壁上的粉末200,在此不一一举例说明。
可选地,如图2所示,为了减少粉末下落过程中附着在风刀管411上,本实施例中风刀管411的横截面为菱形。当然,本实施例中风刀管411的截面还可以为圆形(如图3所示)、长方形等其他形状,在此不一一举例说明。
可选地,本实施例中风刀管411的材质为不锈钢或铜,以避免粉末200与风刀管411接触而污染粉末200。当然,本实施例中风刀管411还可以采用其他材质,在此不一一举例说明。
可选地,为了实现较佳的粉末清扫效果,本实施例中风刀管411的截面积的范围为100mm2-300mm2。例如:风刀管411的截面积可以为100mm2、150mm2、200mm2、250mm2、300mm2等,当然,本实施例中风刀管411的截面积还可以为其他数值,在此不一一举例说明。
在一些实施例中,如图3所示,风刀管411上设有至少一个出风口412,出风口412为沿风刀管411的长度方向延伸且与风刀管411内部连通的缝隙。
本实施例中通过在风刀管411上开设一个或多个缝隙式出风口412,可以使风刀管411内的气体呈瀑布状向外吹出,以实现更好的粉末清扫效果。需要说明的是,本实施例中可以在风刀管411上设置多个出风口412,例如,风刀管411包括两个缝隙式出风口412,两个出风口412间隔设置,靠近锥形斗2的内侧壁的出风口412将附着的粉末200吹起后,粉末200飘起来后再通过远离锥形斗2的内侧壁的出风口412吹扫飘起来的粉末200,以保证粉末200能够不再附着到锥形斗2的内侧壁的其他位置上,保证粉末清扫有效。本实施例中对风刀管411上的出风口412的具体位置和数量可以根据实际需要确定,在此不做具体限定。
可选地,本实施例中出风口412的出风方向与锥形斗2的内侧壁之间的夹角范围为0°-10°。本实施例中可以将风刀41的出风口412设置在靠近锥形斗2的内侧壁的位置且出风方向(图1和图2中的x方向)与锥形斗2的内侧壁之间的夹角设置在0°-10°之间,能够最大可能的吹起锥形斗2的内侧壁上的粉末200,实现较好的清扫效果。当然,本实施例中出风口412的出风方向与锥形斗2的内侧壁的夹角还可以为其他数值,只要能实现锥形斗2的内侧壁上的粉末200清扫皆可,在此不做具体限定。
优选地,本实施例中出风口412的出风方向与锥形斗2的内侧壁之间的夹角范围为0°即平行于锥形斗2的内侧壁。
可选地,本实施例中出风口412的宽度为1mm-3mm。例如出风口412的宽度可以为:1mm、2mm、3mm等,这里就不再一一赘述,上述区间的宽度值,可以在尽量减小风刀管411直径的前提下,保证较佳的清扫效果,以清扫锥形斗2的内侧壁上附着的粉末200。优选地,本实施例中出风口412的宽度为2mm。
在一些实施例中,如图2所示,风刀管411包括第一壳体部4111和第二壳体部4112,第一壳体部4111为连接部5,第二壳体部4112的一端部焊接在连接部5上,第二壳体部4112的另一端部与连接部5的内侧壁间隔一定距离以形成出风口412。本实施例中风刀管411由可以拆卸的第一壳体部4111和第二壳体部4112构成,方便风刀管411安装到连接部5内,并将连接部的侧壁作为第一壳体部4111,只需将第二壳体部4112焊接到连接部5的内侧壁上即可,通过第二壳体部4112的另一端部与连接部5的内侧壁间隔一定距离自然形成出风口412,设计巧妙,且降低了制作成本。
在一些实施例中,粉末清扫装置4还包括至少一个送气管42(如图1和图4所示),风刀管411上设有至少一个进气口413(如图3所示),每个送气管42与相应的进气口413相连通。本实施例中通过送气管42向风刀管411上的进气口413输入气体,送气管42和进气口413的数量一致,通过设置多个进气口413,多个进气口413均匀设置,以使风刀管411内的气体分布均匀,这样从风刀41吹出来的气体能均匀吹扫在整个锥形斗2的内侧壁上。需要说明的是,送气管42内的气体为惰性气体,例如可以为氩气或氮气,以避免与粉末200发生化学反应。
在一些实施例中,如图2所示,连接部5的侧壁上设有至少一个通孔51,每个送气管42穿过相应的通孔51与进气口413连通。可选地,本实施例中通孔51的直径范围为8mm-20mm,例如通孔51的直径可以为8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm、15mm、16mm、17mm、18mm、19mm、20mm等。优选地,本实施例中通孔51的直径为8mm。
在一些实施例中,如图1所示,粉末清扫装置4还包括气体流量控制器43以及与气体流量控制器43连接的调节阀44,调节阀44设置于与至少一个送气管42连接的主气管道45上,气体流量控制器43用于发送控制信号给调节阀44,以调节调节阀44的开度,以进行主气管道45内的气体流量的调整。本实施例的粉末清扫装置4通过气体流量控制器43控制调节阀44的开合度以调节进气管42的进气量实现气体流量调整,进而可以针对不同型号的粉末的粘度的不同采用不同的气体流量进行清扫,例如:粉末的粘度大,则调大调节阀44的开度,进而调大进气管42的进气量,这样不管生产哪种型号的粉末,粉末清扫装置4都能将锥形斗2的内侧壁上的粉末200清扫干净。
可选地,本实施例中调节阀44为气动阀。
可选地,本实施例中气体流量控制器43为流量计。
本实用新型实施例的气雾化制粉设备100还包括熔炼腔,熔炼腔包含熔炼坩埚、中间包和导流管6(如图1所示),雾化时,熔炼坩埚里的熔融液体通过浇筑口浇筑到中间包,然后通过与中间包底部连接的导流管6流入雾化腔1进行气雾化。气雾化时在导流管6中的液体流速稳定后再打开气雾化腔内的氮气雾化,雾化后的粉末200在重力的作用下落直至落在锥形斗2上,之后下滑至收集料斗3内,但是有部分合金粉末残留在锥形斗2的内侧壁上,因此,本实施例通过设置粉末清扫装置4,粉末清扫装置4包含的风刀41通入高压氮气后,吹扫落在锥形斗2的内侧壁上的粉末200使得刚落到锥形斗2的内侧壁上的粉末200立马被吹入收集料斗3内,这样锥形斗2的内侧壁就不会或极少残留粉末200,极大提高了产率,降低成本,并且无需每次雾化结束后都打开雾化腔1清理残留在锥形斗2的内侧壁上的粉末,节约时间和人力成本。
虽然本实用新型所揭露的实施方式如上,但所述的内容仅为便于理解本实用新型而采用的实施方式,并非用以限定本实用新型。任何本实用新型所属领域内的技术人员,在不脱离本实用新型所揭露的精神和范围的前提下,可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化,但本实用新型的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
1.一种气雾化制粉设备,包括雾化腔(1)、与所述雾化腔(1)的出料口相连通的锥形斗(2)以及与所述锥形斗(2)的出料口相连通的收集料斗(3),其特征在于,所述气雾化制粉设备(100)还包括:粉末清扫装置(4),所述粉末清扫装置(4)包括风刀(41),所述风刀(41)设置于所述雾化腔(1)与所述锥形斗(2)的连接部(5)内,所述风刀(41)用于将所述锥形斗(2)的内侧壁上附着的粉末(200)吹起以使所述粉末(200)下落至所述收集料斗(3)内。
2.根据权利要求1所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述风刀(41)包括风刀管(411),所述风刀管(411)为环形管道且设置于所述连接部(5)的内侧壁上。
3.根据权利要求2所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述风刀管(411)的横截面为菱形。
4.根据权利要求2所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述风刀管(411)上设有至少一个出风口(412),所述出风口(412)为沿所述风刀管(411)的长度方向延伸且与所述风刀管(411)内部连通的缝隙。
5.根据权利要求4所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述出风口(412)的出风方向与所述锥形斗(2)的内侧壁之间的夹角范围为0°-10°。
6.根据权利要求4所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述出风口(412)的宽度为1mm-3mm。
7.根据权利要求4所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述风刀管(411)包括第一壳体部(4111)和第二壳体部(4112),所述第一壳体部(4111)为所述连接部(5),所述第二壳体部(4112)的一端部焊接在所述连接部(5)上,所述第二壳体部(4112)的另一端部与所述连接部(5)的内侧壁间隔一定距离以形成出风口(412)。
8.根据权利要求2所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述粉末清扫装置(4)还包括至少一个送气管(42),所述风刀管(411)上设有至少一个进气口(413),每个所述送气管(42)与相应的所述进气口(413)相连通。
9.根据权利要求8所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述连接部(5)的侧壁上设有至少一个通孔(51),每个所述送气管(42)穿过相应的所述通孔(51)与所述进气口(413)连通。
10.根据权利要求8所述的气雾化制粉设备,其特征在于,所述粉末清扫装置(4)还包括气体流量控制器(43)以及与所述气体流量控制器(43)连接的调节阀(44),所述调节阀(44)设置于与所述至少一个送气管(42)连接的主气管道(45)上,所述气体流量控制器(43)用于发送控制信号给所述调节阀(44),以调节所述调节阀(44)的开度,以进行所述主气管道(45)内的气体流量的调整。
技术总结