本实用新型涉及抛光装置领域，更具体的，涉及一种用于多晶硅片的抛光装置。
背景技术：
硅是最重要的半导体材料,它在自然界中含量丰富,仅次于氧而排名第二。晶体硅通常分为单晶硅和多晶硅。多晶硅根据纯度的不同分为冶金级别、太阳能级别、以及电子级别三种。目前，对于多晶硅的抛光还存在抛光精度不够高的问题。
因此，需要提出有效的方案来解决以上问题。
技术实现要素：
为了克服现有技术的缺陷，本实用新型的用于多晶硅片的抛光装置，解决技术中存在抛光精度不够高的问题。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型提供了一种用于多晶硅片的抛光装置，包括框架、固定在所述框架顶部且用于对待抛光多晶硅片进行抛光的抛光组件、固定于所述框架底部且用于放置所述待抛光多晶硅片的抛光盘、以及固定在所述框架顶部且用于喷洒抛光液的喷洒组件；
所述喷洒组件位于所述抛光组件的一侧，所述抛光盘位于所述抛光组件的下方，且所述抛光盘与所述框架的底部可转动连接；
所述抛光组件包括固定在所述框架顶部内侧的液压缸、设于所述液压缸内的推杆、位于所述推杆一侧的活塞、第一驱动电机、以及抛光头；
所述推杆的一端与所述活塞固定连接；
所述活塞远离所述的推杆的一端固定有固定块，所述第一驱动电机固定在固定块上，所述第一驱动电机的驱动轴与所述抛光头连接。
优选地，所述抛光盘具有抛光垫。
优选地，所述框架顶部内侧开设有第一滑槽；所述第一滑槽内通过轴承座固定有滚珠丝杆；
所述抛光组件还包括第一滑块、以及第二驱动电机；所述第一滑块固设于所述滚珠丝杆上；
所述第二驱动电机的驱动轴与所述滚珠丝杆的一端固定连接；
所述液压缸与所述第一滑块远离所述滚珠丝杆的端面固定连接；
所述第二驱动电机驱动所述滚珠丝杆，带动所述第一滑块滑动，所述第一滑块的滑动带动所述液压缸的滑动。
优选地，所述喷洒组件包括固定于所述框架顶部外侧且用于存储抛光液的箱体、以及固定于所述箱体输出口的喷洒管；
所述喷洒管远离所述箱体输出口的端部固定有雾化喷头。
优选地，所述喷洒管上套设固定有用于开闭所述喷洒管的电磁阀。
优选地，所述箱体通过所述框架上的滑轨沿所述框架顶部可移动；
所述箱体移动的方向为沿所述框架顶部的横向方向。
优选地，所述液压缸的滑动方向与所述箱体移动方向垂直。
所述第二驱动电机为异步电机。
所述第一驱动电机为可调速电机；
所述推杆为液压推杆。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型的用于多晶硅片的抛光装置，包括框架、固定在框架顶部且用于对待抛光多晶硅片进行抛光的抛光组件、固定于框架底部且用于放置待抛光多晶硅片的抛光盘、以及固定在框架顶部且用于喷洒抛光液的喷洒组件；喷洒组件位于抛光组件的一侧，抛光盘位于抛光组件的下方，且抛光盘与框架的底部可转动连接；抛光组件包括固定在框架顶部内侧的液压缸、设于液压缸内的推杆、位于推杆一侧的活塞、第一驱动电机、以及抛光头；推杆的一端与活塞固定连接；活塞远离的推杆的一端固定有固定块，第一驱动电机固定在固定块上，第一驱动电机的驱动轴与抛光头连接。通过抛光组件，进行对待抛光多晶硅片的抛光，同时通过抛光盘抛光的过程中，同时待抛光多晶硅片和抛光盘旋转，以及通过喷洒组件向抛光盘上喷洒抛光液，综上，通过抛光组件和抛光盘的旋转以及喷洒组件的组合，实现抛光过程，更具体地，通过液压缸驱动推杆推动活塞可以上下移动，由于固定块活塞固定连接的，所以推杆推动活塞的上下移动，从而带动移动第一驱动电机的移动，由于抛光头是与第一驱动电机的驱动轴固定连接的，从而带动抛光头的上下移动，由于待抛光多晶硅片位于抛光头的下方，当移动到待抛光多晶硅片的顶面时，使抛光头产生的向下的力使其与待抛光多晶硅片贴合，同时待抛光多晶硅片还直接与抛光盘接触，在抛光期间，待抛光多晶硅片和抛光盘旋转，同时待抛光多晶硅片保持向下的力，将抛光液喷洒到抛光盘上，实现抛光过程；综上可以看出，通过液压缸、推杆、活塞、第一驱动电机和抛光头的配合以及抛光盘的旋转，来实现对待抛光多晶硅片的抛光，可以提高抛光的稳定性，进而可以提高抛光的精度，避免抛光不良率，有益于提高工作效率，同时还具有自动化、智能化的特点，减小人工成本。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式提供的一种用于多晶硅片的抛光装置的结构示意图；
图2是本实用新型具体实施方式提供的另一种用于多晶硅片的抛光装置的结构示意图。
图中：
1、框架；3、抛光盘；11、第一滑槽；12、滚珠丝杆；13、轴承座；21、液压缸；31、抛光垫；22、推杆；23、活塞；24、第一驱动电机；25、抛光头；26、第一滑块；27、第二驱动电机；41、箱体；42、喷洒管；131、固定块；421、雾化喷头。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实用新型的多晶硅应用于太阳能级多晶硅，太阳能级多晶硅主要应用于太阳能电池光伏产业以及太阳能伴热方面，而抛光是指抛光材料对制品表面进行整平处理，降低粗糙度，使凹凸的表面变得平滑、精美，增加表面的光泽度。图1是本实用新型具体实施方式提供的一种用于多晶硅片的抛光装置的结构示意图，如图1所示。本实用新型提出了一种用于多晶硅片的抛光装置，包括框架1、固定在框架1顶部且用于对待抛光多晶硅片进行抛光的抛光组件、固定于框架1底部且用于放置待抛光多晶硅片的抛光盘3、以及固定在框架1顶部且用于喷洒抛光液的喷洒组件；喷洒组件位于抛光组件的一侧，抛光盘3位于抛光组件的下方，且抛光盘3与框架1的底部可转动连接；抛光组件包括固定在框架1顶部内侧的液压缸21、设于液压缸21内的推杆22、位于推杆22一侧的活塞23、第一驱动电机24、以及抛光头25；推杆22的一端与活塞23固定连接；活塞23远离的推杆22的一端固定有固定块131，第一驱动电机24固定在固定块131上，第一驱动电机24的驱动轴与抛光头25连接。具体来说，通过抛光组件，进行对待抛光多晶硅片的抛光，同时通过抛光盘3抛光的过程中，同时待抛光多晶硅片和抛光盘3旋转，以及通过喷洒组件向抛光盘3上喷洒抛光液，综上，通过抛光组件和抛光盘3的旋转以及喷洒组件的组合，实现抛光过程，更具体地，通过液压缸21驱动推杆22推动活塞23可以上下移动，由于固定块131活塞23固定连接的，所以推杆22推动活塞23的上下移动，从而带动移动第一驱动电机24的移动，由于抛光头25是与第一驱动电机24的驱动轴固定连接的，从而带动抛光头25的上下移动，由于待抛光多晶硅片位于抛光头25的下方，当移动到待抛光多晶硅片的顶面时，使抛光头25产生的向下的力使其与待抛光多晶硅片贴合，同时待抛光多晶硅片还直接与抛光盘3接触，在抛光期间，待抛光多晶硅片和抛光盘3旋转，同时抛光头25使待抛光多晶硅片保持向下的力，同时喷洒组件将抛光液喷洒到抛光盘3上，实现抛光过程；综上可以看出，通过液压缸21、推杆22、活塞23、第一驱动电机24和抛光头25的配合以及抛光盘3的旋转和喷洒组件的喷洒配合，来实现对待抛光多晶硅片的抛光，可以提高抛光的稳定性，进而可以提高抛光的精度，避免抛光不良率，有益于提高工作效率，同时还具有自动化、智能化的特点，减小人工成本。其中，具体实施中，第一驱动电机24可以采用现有技术的可调速电机；推杆22为液压推杆。
优选地，所述抛光盘3具有抛光垫31。更具体地，以上实施中的将抛光液喷洒到抛光盘3上，更具体地是将抛光液喷洒到抛光垫31上。另外，抛光盘3是固定于框架1底部且与框架1的底部是转动连接的，实现转动的方式可以采用现有技术中的任何可以使抛光盘3转动或旋转的方式都可以，比如通过在框架1的底部固定转动电机，转动电机的输出轴固定有抛光盘3，抛光盘3随着转动电机的输出轴的转动而转动，从而实现抛光盘3的旋转。
优选地，框架1顶部内侧开设有第一滑槽11；第一滑槽11内通过轴承座13固定有滚珠丝杆12；抛光组件还包括第一滑块26、以及第二驱动电机27；第一滑块26固设于滚珠丝杆12上；第二驱动电机27的驱动轴与滚珠丝杆12的一端固定连接；液压缸21与第一滑块26远离滚珠丝杆12的端面固定连接。图2是本实用新型具体实施方式提供的另一种用于多晶硅片的抛光装置的结构示意图，如图2所示。具体来说，通过第二驱动电机27驱动滚珠丝杆12，从而带动第一滑块26的沿着框架1顶部内侧的竖向来回滑动，第一滑块26的滑动带动液压缸21的来回滑动，从而可以实现当需要液压缸21移动到待抛光多晶硅的正上方或者远离待抛光多晶硅的时候，都能够使液压缸21自如移动。其中，第二驱动电机27可以采用现有的异步电机。
为了进一步清楚喷洒组件的结构，优选地，喷洒组件包括固定于框架1顶部外侧且用于存储抛光液的箱体41、以及固定于箱体41输出口的喷洒管42；喷洒管42远离箱体41输出口的端部固定有雾化喷头421。喷洒管42上套设固定有用于开闭喷洒管42的电磁阀。通过电磁阀来控制喷洒管42的开闭，从而控制喷洒管42的喷洒与否的工作。其中，抛光液可以采用现有技术的碱性或者酸性抛光液，根据具体的实施情况而选择，这里并不作限制。抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，具有良好的去油污、清洗和增光的性能，并超过了原有的光泽。另外，在具体实施中，还可以在抛光垫31上涂磨料，将磨料和抛光液均涂于抛光垫31上，在抛光的过程中，将在多晶硅表面形成的钝化膜去除，达到表面平整化的目的；其中，具体实施中，磨料可以是胶体硅。
为了实现能够更加准确和喷洒的位置更合理，优选地，箱体41通过框架上1的滑轨沿框架1顶部可移动；箱体41的移动方向为沿框架1顶部的横向方向。具体来说，框架1的顶部内壁且位于抛光组件的一侧开设有滑轨，那么箱体41固定在框架1的顶部内壁上且沿着该滑轨可以沿框架1顶部的横向方向移动，如果正对着图，即沿着框架1顶部左右移动。
优选地，所述液压缸21的滑动方向与所述箱体41移动方向垂直，如果正对着图，液压缸21的滑动方向为沿着框架1顶部内侧前后滑动。
本实用新型是通过优选实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用新型保护的范围。
1.一种用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
包括框架(1)、固定在所述框架(1)顶部且用于对待抛光多晶硅片进行抛光的抛光组件、固定于所述框架(1)底部且用于放置所述待抛光多晶硅片的抛光盘(3)、以及固定在所述框架(1)顶部且用于喷洒抛光液的喷洒组件；
所述喷洒组件位于所述抛光组件的一侧，所述抛光盘(3)位于所述抛光组件的下方，且所述抛光盘(3)与所述框架(1)的底部可转动连接；
所述抛光组件包括固定在所述框架(1)顶部内侧的液压缸(21)、设于所述液压缸(21)内的推杆(22)、位于所述推杆(22)一侧的活塞(23)、第一驱动电机(24)、以及抛光头(25)；
所述推杆(22)的一端与所述活塞(23)固定连接；
所述活塞(23)远离所述的推杆(22)的一端固定有固定块(131)，所述第一驱动电机(24)固定在固定块(131)上，所述第一驱动电机(24)的驱动轴与所述抛光头(25)连接。
2.如权利要求1的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述抛光盘(3)具有抛光垫(31)。
3.如权利要求1的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述框架(1)顶部内侧开设有第一滑槽(11)；所述第一滑槽(11)内通过轴承座(13)固定有滚珠丝杆(12)；
所述抛光组件还包括第一滑块(26)、以及第二驱动电机(27)；所述第一滑块(26)固设于所述滚珠丝杆(12)上；
所述第二驱动电机(27)的驱动轴与所述滚珠丝杆(12)的一端固定连接；
所述液压缸(21)与所述第一滑块(26)远离所述滚珠丝杆(12)的端面固定连接；所述第二驱动电机(27)驱动所述滚珠丝杆(12)，带动所述第一滑块(26)滑动，所述第一滑块(26)的滑动带动所述液压缸(21)的滑动。
4.如权利要求3的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述喷洒组件包括固定于所述框架(1)顶部外侧且用于存储抛光液的箱体(41)、以及固定于所述箱体(41)输出口的喷洒管(42)；
所述喷洒管(42)远离所述箱体(41)输出口的端部固定有雾化喷头(421)。
5.如权利要求4的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述喷洒管(42)上套设固定有用于开闭所述喷洒管(42)的电磁阀。
6.如权利要求4的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述箱体(41)通过框架(1)上的滑轨沿所述框架(1)顶部可移动；
所述箱体(41)的移动方向为沿所述框架(1)顶部的横向方向。
7.如权利要求6的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：所述液压缸(21)的滑动方向与所述箱体(41)移动方向垂直。
8.如权利要求3的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述第二驱动电机(27)为异步电机。
9.如权利要求1至8任一项所述的用于多晶硅片的抛光装置，其特征在于：
所述第一驱动电机(24)为可调速电机；
所述推杆(22)为液压推杆。
技术总结