本申请涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种太阳能薄膜制备装置。
背景技术：
铜铟镓硒(cigs)薄膜太阳能电池的制备装置，在太阳能电池的生产中使用较多。铜铟镓硒(cigs)薄膜太阳能电池的制备装置包括多个工艺腔室，每一个腔室都需要用腔盖进行密封。在维修设备的过程中，需要开启和关闭腔盖，对于腔盖的开启工作，目前主要是使用行车进行吊起，行车的吊臂与腔盖间使用柔性连接带连接后，吊臂再升起，从而将腔盖开启。从生产效率考虑，一般一个行车都需要负责开启多个腔室，而且在一个接一个开启腔盖的过程中，行车还需要将腔盖进行转移放置，才能继续开启其他腔盖，这就造成开启腔盖的效率很低，进而导致生产效率极低；从车间的空间考虑，行车的吊臂高度较高，对于车间的高度要求较高，高度低的车间运行十分困难甚至无法运行；再者，吊臂的高度也使得吊臂与腔盖间的高度差较大，用于连接二者的柔性连接带长度较长，为了防止腔盖在开启和转移过程中的晃动，需要人工手扶，浪费了极大的人力成本，并进一步减慢了开启效率和生产效率。
因此，需要提供一种太阳能薄膜制备装置来解决现有技术的不足。
技术实现要素：
为了解决现有技术中的问题，本申请提供了一种太阳能薄膜制备装置。
一种太阳能薄膜制备装置，包括腔室、用于密封所述腔室的腔盖和启闭组件；
所述启闭组件位于所述腔室上方，用于启闭所述腔盖；
所述启闭组件包括驱动件、可转动的摆杆和连接件，所述连接件与所述摆杆的一端连接，所述连接件与所述腔盖可拆卸连接；所述驱动件与所述摆杆的另一端连接，用于驱动所述摆杆转动并带动所述腔盖开启或关闭。
进一步的，所述腔盖的上表面设有第一连接环，所述连接件与所述第一连接环可拆卸连接。
进一步的，所述驱动件的输出轴水平设置，所述驱动件的输出轴与所述摆杆垂直连接。
进一步的，所述腔盖的上表面设有多个第一连接环，多个所述第一连接环环绕着所述腔盖的中心均匀分布在四周；所述启闭组件的数目和位置与多个所述第一连接环一一对应。
进一步的，所述连接件为第二连接环，所述第一连接环和与之对应的启闭组件的第二连接环间通过柔性连接带可拆卸连接。
进一步的，所述腔盖的上表面设有多个第一连接环，多个所述第一连接环同轴设置，所述启闭组件的数目和位置与多个所述第一连接环一一对应；多个启闭组件的所述驱动件的输出轴同轴设置；所述输出轴与所述第一连接环的轴线平行。
进一步的，所述连接件为第二连接环；多个所述摆杆分别旋转至与所述腔盖平行时，多个所述第二连接环和多个所述第一连接环同轴设置，通过分别贯穿多个所述第二连接环和多个所述第一连接环的螺栓连接所述启闭组件和所述腔盖。
进一步的，所述连接件为环状卡扣；所述启闭组件的摆杆旋转到与所述腔盖平行时，所述启闭组件的环状卡扣和与之对应的第一连接环卡接。
进一步的，还包括设置于所述腔室内的真空度检测件，所述真空度检测件与所述驱动件电控连接，所述驱动件根据所述真空度检测件检测到的真空度参数确定是否驱动。
进一步的，还包括控制器，所述控制器分别与所述驱动件和所述真空度检测件电控连接；
所述控制器接收所述真空度检测件检测到的真空度参数、并根据所述真空度参数控制所述驱动件进行驱动。
本申请的技术方案与最接近的现有技术相比具有如下优点：
本申请提供的技术方案提供的太阳能薄膜制备装置，通过启闭组件的驱动件可以驱动所述摆杆进行旋转，将设置在摆杆一端的连接件与所述腔盖连接后，摆杆在旋转的过程中，则可以带动腔盖开启。启闭组件与腔室和腔盖配套设置，避免了在腔盖转移过程中浪费人力物力；而且多个腔室的腔盖可以同时开启，避免了多个腔室依次开启造成的开启效率低下和生产效率低下的问题；再者启闭组件为太阳能薄膜制备装置的固有部件，其高度贴近腔室高度，避免了使用行车开启腔盖时对车间的高度要求，提高了太阳能薄膜制备装置对车间的适用性和应用范围。
附图说明
图1是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第一种结构的俯视图；
图2是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第一种结构的侧视图；
图3是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第二种结构的俯视图；
图4是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第二种结构的侧视图。
其中，1-腔盖；2-启闭组件；3-驱动件；4-输出轴；5-摆杆；6-连接件；7-第一连接环；8-控制器；9-装置主体；10-腔室。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第二”、“第一”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本申请中，术语“上”、“下”、“内”、“中”、“外”、“横”、“纵”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
此外，术语“设置”、“连接”、“固定”应做广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图1-4并结合实施例来详细说明本申请。图1是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第一种结构的俯视图；图2是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第一种结构的侧视图；图3是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第二种结构的俯视图；以及，图4是本申请提供的太阳能薄膜制备装置第二种结构的侧视图。
实施例1
如图1和图2所示，本申请提供了一种太阳能薄膜制备装置，包括腔室10、用于密封所述腔室10的腔盖1和启闭组件2；所述启闭组件2位于所述腔室1上方，用于启闭所述腔盖1；所述启闭组件2包括驱动件3、可转动的摆杆5和连接件6，所述连接件6与所述摆杆5的一端连接，所述连接件6与所述腔盖1可拆卸连接；所述驱动件3与所述摆杆5的另一端连接，用于驱动所述摆杆5转动并带动所述腔盖1开启或关闭。腔盖1和启闭组件2都是与腔室10配套设置的，而且太阳能薄膜制备装置设置有多个腔室10，也就是说每个腔室10都设置有一个腔盖1，而且每个腔室10都配套设置有一个或多个启闭组件2。腔室10可以设置在太阳能薄膜制备装置的装置主体9内，且腔室10于装置主体9的顶面设有开口，开口内设置腔盖1以封闭所述腔室10，启闭组件2设置在装置主体9的顶面上；多个腔室10还可以通过梁或底座连接为一体，而启闭组件2也设置在梁或底座上。
通过启闭组件2的驱动件3可以驱动所述摆杆5进行旋转，将设置在摆杆5一端的连接件6与腔盖1连接后，摆杆5在旋转的过程中，则可以带动腔盖1开启。启闭组件2与腔室10和腔盖1配套设置，避免了在腔盖1转移过程中浪费人力物力；而且多个腔室10的腔盖1可以同时开启，避免了多个腔室10依次开启造成的开启效率低下和生产效率低下的问题；再者启闭组件2为太阳能薄膜制备装置的固有部件，其高度贴近腔室10高度，避免了使用行车开启腔盖1时对车间的高度要求，提高了太阳能薄膜制备装置对车间的适用性和应用范围。
在本实施例中，所述腔盖1的上表面设有第一连接环7，所述连接件6与所述第一连接环7可拆卸连接。腔盖1需要与连接件6进行连接之后，然后通过摆杆5旋转带动连接件6升高，才能完成腔盖1的开启，因此腔盖1与连接件6间的连接需要非常牢固，否则将有可能造成腔盖1在开启过程中坠落，甚至发生危险。设置第一连接环7，可以方便连接件6和第一连接环7之间的连接，而且能够保证二者之间连接的稳定性和牢固性，避免发生坠落或者危险。
在本实施例中，所述驱动件3的输出轴4水平设置，且所述输出轴4与所述摆杆5垂直连接。驱动件3可以选择电机或者马达，其输出轴4转动过程中可以带动摆杆5进行旋转，垂直的连接有利于连接的稳定性和摆杆5旋转的灵活性。
在本实施例中，所述腔盖1的上表面设有多个第一连接环7，多个所述第一连接环7围绕着所述腔盖1的中心均匀分布在四周，且每个第一连接环7的轴线均与所述腔盖1平行；所述启闭组件2的数目和位置与多个所述第一连接环7一一对应。所述腔盖1多为矩形、方形或圆形，如果连接件6只与其中某一个点进行连接，然后摆杆5带动连接件6上升，进而开启腔盖1，则开启的过程中腔盖1的状态会极不稳定，而且只有一个连接点也存在坠落的风险；设置多个第一连接环7，可以使腔盖1与多个启闭组件2连接，连接变得稳定可靠，多个启闭组件2的摆杆5同步旋转，使连接件6从各个点带动腔盖1上升、开启，同时也避免了某一个连接点出问题造成的坠落风险。启闭组件2与第一连接环7是配套设置的，即每一个连接环均对应设置有一个启闭组件2，而且启闭组件2的设置位置和与之对应的第一连接环7也是匹配的，例如多个第一连接环7围绕成近似圆形时，每个第一连接环7对应的启闭组件2的摆杆5都沿着上述圆形的穿过该第一连接环7的径向延长线设置。当然第一连接环7的数量要适中，保证连接稳定性和腔盖1开启的便捷性即可，而位置也要均匀分散，保证腔盖1的重力合理分散在四个第一连接环7处。
在本实施例中，所述腔盖1的上表面设有四个第一连接环7，四个所述第一连接环7的轴线分别平行，且四个所述第一连接环7的轴线分别与所述腔盖1平行，四个所述第一连接环7的连线形成矩形。形成矩形的四个第一连接环7既能够保证连接件6与腔盖1间的连接稳定性和腔盖1开启的便捷性，又避免了第一连接环7过多、启闭组件2过多造成的成本浪费、安装空间浪费和装配难度增加等问题。
在本实施例中，四个启闭组件2的连接件6的轴线和与之对应的摆杆5垂直，且同时和与之对应的第一连接环7的轴线平行。优选地，四个第一连接环7设置在矩形的腔盖1的四个角处且其轴线均与矩形腔盖1的长度方向垂直，而四个启闭组件2分别设置在矩形腔盖1的纵向两侧，每侧两个，启闭组件2的摆杆5分别和与之对应的第一连接环7相对，而且摆杆5与矩形腔盖1的长度方向平行；当然，四个第一连接环7也可设置在矩形的腔盖1的四个角处且其轴线均与矩形腔盖1的宽度方向垂直，四个启闭组件2也可以分别设置在矩形腔盖1的横向的两侧，每侧两个，启闭组件2的摆杆5分别和与之对应的第一连接环7相对，而且摆杆5与矩形腔盖1的宽度方向平行。
在本实施例中，所述连接件6为第二连接环，所述第一连接环7和与之对应的启闭组件2的第二连接环间通过柔性连接带可拆卸连接。由于多个第一连接环7分别环绕腔盖1的中心设置，而且多个启闭组件2与多个第一连接环7一一对应设置，因此启闭组件2也围绕腔盖1设置。当启闭组件2的摆杆5旋转时，摆杆5的连接有第二连接环的一端逐渐上升，多个第二连接环之间的距离逐渐变大，因此采用柔性连接带进行连接，可以在摆杆5旋转时，为多个第二连接环间距离变化提供长度补偿，柔性连接带可选用普通绳索，或者是较专业的一些连接带，当然这里所使用的连接带的长度较之行车吊起腔盖1时使用的连接带，已经缩短了绝大部分长度，因此在开启过程中，腔盖1的晃动幅度非常之小，基本不需要人工手扶，避免了大量的人力成本的浪费，同时提高了效率。
在本实施例中，还包括设置于所述腔室10内的真空度检测件，所述真空度检测件与所述驱动件3电控连接，所述驱动件3根据所述真空度检测件检测到的真空度参数确定是否驱动。真空度检测件能够检测腔室10内的真空度，也就是可以检测腔室10内的气压，可根据生产需要或者维修条件设置一个气压条件，当真空度检测件检测到的真空度参数满足上述气压条件时，驱动件3则进行驱动，进而开启腔盖1，提高了腔盖1开启过程中的自动化程度和控制的精确度。
在本实施例中，还包括控制器8，所述控制器8分别与所述驱动件3和所述真空度检测件电控连接；所述控制器8接收所述真空度检测件检测到的真空度参数、并根据所述真空度参数控制所述驱动件3进行驱动。控制器8可根据接收到的真空度参数，并通过与预设的开启条件进行比较，确定是否控制驱动件3进行驱动。同一个腔盖1对应的多个驱动件3可以与同一个控制器8电连接，控制器8可以同步控制多个启闭组件2的驱动件3进行输出，也可以单独控制每一个驱动件3单独输出，多个腔盖1的多个控制器8可以分别与太阳能薄膜制备装置的主控板电连接，用户可以通过太阳能薄膜制备装置的人机交互界面操作控制器8，进而控制启闭组件2的驱动件3进行腔盖1的开启。
实施例2
如图3和图4所示，本实施例与实施例1的结构基本相同，其不同之处在于：多个第一连接环7的安装位置和相互间的位置关系、相应的启闭组件2的安装位置和启闭组件2与第一连接环7的连接方式。
在本实施例中，所述腔盖1的上表面设有多个第一连接环7，多个第一连接环7的轴线分别平行，多个第一连接环7的轴线分别与腔盖平行，且多个所述第一连接环7同轴设置(即多个所述第一连接环7的轴线是共线的)，所述启闭组件2的数目和位置与多个所述第一连接环7一一对应；多个启闭组件2的所述驱动件3的输出轴4同轴设置(即多个所述输出轴4的轴线是共线的)；所述输出轴4与所述第一连接环7的轴线平行。前文提到的多个第一连接环7环绕所述腔盖1的中心设置的方式为其一种设置方式，而本实施例将多个第一连接环7依次排列于腔盖1的上表面，使多个第一连接环7彼此间相互同轴，对应于这种方式的第一连接环7的排列方式，则可将启闭组件2依次排列设置于腔盖1的同一侧，优选地设置在第一连接环7的径向一侧，这样方便使摆杆5旋转所环绕的轴即输出轴4与第一连接环7的轴线平行，从而方便连接件6与第一连接环7间的连接，而且方便摆杆5旋转过程中开启腔盖1，这种方式方便了连接件6与第一连接环7间的刚性连接。
在本实施例中，所述连接件6为第二连接环；多个所述摆杆5分别旋转至与所述腔盖1平行时，多个所述第二连接环和多个所述第一连接环7同轴设置(多个所述第二连接环的轴线与多个所述第一连接环7的轴线共线)，通过分别贯穿多个所述第二连接环和多个所述第一连接环7的螺栓连接所述启闭组件2和所述腔盖1。启闭组件2设置在腔盖1的与该启闭组件2对应的第一连接环7的径向延线的一侧，而且在第一连接环7的轴向上，启闭组件2的摆杆5与第一连接环7的位置相对有一定偏移，这样能够使摆杆5旋转至与腔盖1平行时，第二连接环位于第一连接环7的周向一侧，而且第一连接环7与第二连接环大小相等、位置同轴，这样位置关系下，只需使用分别贯穿所有第二连接环和所有第一连接环7的一根长螺栓即可完成连接件6与腔盖1的固定，再通过摆杆5的旋转即可带动使腔盖1与摆杆5同步运动，实现腔盖1开启。腔盖1与连接件6间的刚性连接避免了腔盖1在开启过程中的晃动，完全省去了人工手扶的辅助操作，极大地节省了人力成本，极大地提高了腔盖1开启效率。
实施例3
本实施例与实施例2的结构基本相同，其不同之处在于：启闭组件中的连接件6的形式、启闭组件2的安装位置和启闭组件2与第一连接环7的连接方式。
在本实施例中，所述连接件6为弹性环状卡扣；所述启闭组件2的摆杆5旋转到与所述腔盖1平行时，所述启闭组件2的弹性环状卡扣和与之对应的第一连接环7卡接。启闭组件2设置在腔盖1的与该启闭组件2对应的第一连接环7的径向延线的一侧，而且摆杆5设置在第一连接环7的径向延线上，这样摆杆5旋转过程中，设置在摆杆5一端的弹性环状卡扣逐渐到达第一连接环7的上方，而且最终相抵，弹性环状卡扣的开口在与第一连接环7的相互挤压作用下开启，进而第一连接环7进入到弹性环状卡扣内，弹性环状卡扣和第一连接环7完成了自动连接。这种连接方式完全省去了人工连接的操作，进一步节省了人力成本，提高了腔盖1开启的自动化程度和效率。至于卡扣的选择，现有技术中有很多种，卡扣设有一个只能向内侧转动的单向开启的筋条，通过从外向内的推力可以打开卡扣、进入卡扣，而从其内部则无法开启卡扣，这种卡扣的种类很多，技术很成熟，这里不做过多的赘述。
需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。
1.一种太阳能薄膜制备装置，其特征在于，包括腔室(10)、用于密封所述腔室(10)的腔盖(1)和启闭组件(2)；
所述启闭组件(2)位于所述腔室(10)上方，用于启闭所述腔盖(1)；
所述启闭组件(2)包括驱动件(3)、可转动的摆杆(5)和连接件(6)，所述连接件(6)与所述摆杆(5)的一端连接，所述连接件(6)与所述腔盖(1)可拆卸连接；所述驱动件(3)与所述摆杆(5)的另一端连接，用于驱动所述摆杆(5)转动并带动所述腔盖(1)开启或关闭。
2.根据权利要求1所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述腔盖(1)的上表面设有第一连接环(7)，所述连接件(6)与所述第一连接环(7)可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述驱动件(3)的输出轴(4)水平设置，所述驱动件(3)的输出轴(4)与所述摆杆(5)垂直连接。
4.根据权利要求3所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述腔盖(1)的上表面设有多个第一连接环(7)，多个所述第一连接环(7)环绕着所述腔盖(1)的中心均匀分布在四周；所述启闭组件(2)的数目和位置与多个所述第一连接环(7)一一对应。
5.根据权利要求4所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述连接件(6)为第二连接环，所述第一连接环(7)和与之对应的启闭组件(2)的第二连接环间通过柔性连接带可拆卸连接。
6.根据权利要求3所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述腔盖(1)的上表面设有多个第一连接环(7)，多个所述第一连接环(7)同轴设置，所述启闭组件(2)的数目和位置与多个所述第一连接环(7)一一对应；多个启闭组件(2)的所述驱动件(3)的输出轴(4)同轴设置；所述输出轴(4)与所述第一连接环(7)的轴线平行。
7.根据权利要求6所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述连接件(6)为第二连接环；多个所述摆杆(5)分别旋转至与所述腔盖(1)平行时，多个所述第二连接环和多个所述第一连接环(7)同轴设置，通过分别贯穿多个所述第二连接环和多个所述第一连接环(7)的螺栓连接所述启闭组件(2)和所述腔盖(1)。
8.根据权利要求6所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，所述连接件(6)为环状卡扣；所述启闭组件(2)的摆杆(5)旋转到与所述腔盖(1)平行时，所述启闭组件(2)的环状卡扣和与之对应的第一连接环(7)卡接。
9.根据权利要求1所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，还包括设置于所述腔室(10)内的真空度检测件，所述真空度检测件与所述驱动件(3)电控连接，所述驱动件(3)根据所述真空度检测件检测到的真空度参数确定是否驱动。
10.根据权利要求9所述的太阳能薄膜制备装置，其特征在于，还包括控制器(8)，所述控制器(8)分别与所述驱动件(3)和所述真空度检测件电控连接；
所述控制器(8)接收所述真空度检测件检测到的真空度参数、并根据所述真空度参数控制所述驱动件(3)进行驱动。
技术总结