一种数字出版用刻蚀机的制作方法

    技术2022-07-11  143


    本实用新型涉及刻蚀机技术领域,具体为一种数字出版用刻蚀机。



    背景技术:

    数字化出版是在出版的整个过程中,将所有的信息都以统一的二进制代码的数字化形式存储于光盘、磁盘等介质中,信息的处理与接收则借助计算机或终端设备进行,刻蚀机是对芯片、电路板等进行加工的机器,刻蚀机中的等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,现有的数字出版用刻蚀机在使用过程中,不便于刻蚀气体对晶片的刻蚀更加均匀,不便于刻蚀气体的重复利用。

    为此,提出一种数字出版用刻蚀机。



    技术实现要素:

    本实用新型的目的在于提供一种数字出版用刻蚀机,便于使刻蚀气体对晶片的刻蚀更加均匀,便于刻蚀气体的重复利用,以解决上述背景技术中提出的问题。

    为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种数字出版用刻蚀机,包括箱体,所述箱体的前端外表面铰接有箱门,所述箱体的下端外表面固定安装有气罐和液压机,所述液压机位于气罐的一侧,所述气罐的上端外表面固定安装有气泵,所述气泵与气罐之间固定安装有第一进气管,所述气泵通过第二进气管固定连接有反应罩,所述反应罩的上端内表面固定安装有分子泵,所述反应罩的前后两端外表面与气罐的前后两端外表面均固定安装有出气管,所述液压机的上端外表面活动安装有升降杆,所述升降杆的上端外表面固定安装有托物台,所述托物台的上端外表面固定安装有密封圈。

    通过将晶片放置在托物台,液压机带动升降杆上移,直至托物台上的密封圈与反应罩抵触,气泵通过第一进气管和第二进气管将气罐里的刻蚀气体输送给分子泵,刻蚀气体通过分子泵在反应罩里对晶片进行刻蚀,刻蚀气体在自上而下对晶片进行刻蚀后,再通过反应罩和气罐之间连通的两个出气管重新输送入气罐的内部,两个出气管有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀,刻蚀气体通过两个出气管重新输送入气罐的内部,进而形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    优选的,所述箱门的前端外表面固定安装有握把。

    便于工作人员握住握把打开箱门。

    优选的,所述气泵、第一进气管、第二进气管、分子泵、两个出气管、气罐和反应罩的内部均连通。

    便于刻蚀气体在刻蚀晶片时形成一个循环,使刻蚀气体能够重复利用。

    优选的,所述密封圈为全氟橡胶,所述密封圈为环形。

    全氟橡胶具有耐腐蚀的作用,能使密封圈起到耐腐蚀和密封的作用。

    优选的,所述密封圈位于反应罩的正下方,且其与反应罩的下端外表面吻合。

    密封圈起到了密封的作用,有利于刻蚀气体在刻蚀晶片时形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    优选的,两个所述出气管的规格相同,且其前后对应。

    两个出气管规格相同有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀。

    优选的,所述气泵、分子泵、液压机均与外接电源电性连接。

    能够提供电流为刻蚀机工作。

    与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

    1、本实用新型,通过工作人员接通液压机的电源,将晶片放置在托物台上,液压机带动升降杆上移,直至托物台上的密封圈与反应罩抵触,工作人员接通气泵的电源,气泵通过第一进气管和第二进气管将气罐里的刻蚀气体输送给分子泵,刻蚀气体通过分子泵在反应罩里对晶片进行刻蚀,刻蚀气体在自上而下对晶片进行刻蚀后,再通过反应罩和气罐之间连通的两个出气管重新输送入气罐的内部,出气管有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀,刻蚀气体通过两个出气管重新输送入气罐的内部,进而形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    附图说明

    图1为本实用新型的结构示意图;

    图2为本实用新型的箱体与箱门的相结合视图;

    图3为本实用新型的托物台与密封圈的相结合视图;

    图4为本实用新型的气罐与反应罩的相结合视图。

    图中:1、箱体;2、箱门;3、气罐;4、气泵;5、反应罩;61、第一进气管;62、第二进气管;7、分子泵;8、出气管;9、液压机;10、升降杆;11、托物台;12、密封圈。

    具体实施方式

    下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

    请参阅图1至图4,本实用新型提供一种技术方案:一种数字出版用刻蚀机,如图1至图4所示,包括箱体1,所述箱体1的前端外表面铰接有箱门2,所述箱体1的下端外表面固定安装有气罐3和液压机9,所述液压机9位于气罐3的一侧,所述气罐3的上端外表面固定安装有气泵4,所述气泵4与气罐3之间固定安装有第一进气管61,所述气泵4通过第二进气管62固定连接有反应罩5,所述反应罩5的上端内表面固定安装有分子泵7;

    如图1、图2和图3所示,所述反应罩5的前后两端外表面与气罐3的前后两端外表面均固定安装有出气管8,所述液压机9的上端外表面活动安装有升降杆10,所述升降杆10的上端外表面固定安装有托物台11,所述托物台11的上端外表面固定安装有密封圈12。

    通过采用上述技术方案,将晶片放置在托物台11,液压机9带动升降杆10上移,直至托物台11上的密封圈12与反应罩5抵触,气泵4通过第一进气管61和第二进气管62将气罐3里的刻蚀气体输送给分子泵7,刻蚀气体通过分子泵7在反应罩5里对晶片进行刻蚀,刻蚀气体在自上而下对晶片进行刻蚀后,再通过反应罩5和气罐3之间连通的两个出气管8重新输送入气罐3的内部,两个出气管8有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀,刻蚀气体通过两个出气管8重新输送入气罐3的内部,进而形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    具体的,如图2所示,所述箱门2的前端外表面固定安装有握把。

    通过采用上述技术方案,便于工作人员握住握把打开箱门2。

    具体的,如图1和图3所示,所述气泵4、第一进气管61、第二进气管62、分子泵7、两个出气管8、气罐3和反应罩5的内部均连通。

    通过采用上述技术方案,便于刻蚀气体在刻蚀晶片时形成一个循环,使刻蚀气体能够重复利用。

    具体的,如图1和图3所示,所述密封圈12为全氟橡胶,所述密封圈12为环形。

    通过采用上述技术方案,全氟橡胶具有耐腐蚀的作用,能使密封圈12起到耐腐蚀和密封的作用。

    具体的,如图1和图3所示,所述密封圈12位于反应罩5的正下方,且其与反应罩5的下端外表面吻合。

    通过采用上述技术方案,密封圈12起到了密封的作用,有利于刻蚀气体在刻蚀晶片时形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    具体的,如图4所示,两个所述出气管8的规格相同,且其前后对应。

    通过采用上述技术方案,两个出气管8规格相同有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀。

    具体的,如图1和图3所示,所述气泵4、分子泵7、液压机9均与外接电源电性连接。

    通过采用上述技术方案,能够提供电流为刻蚀机工作。

    本实施例中值得说明的是密封圈12的作用。

    工作原理:将晶片放置在托物台11上,液压机9可带动升降杆10上移,直至托物台11上的密封圈12与反应罩5抵触,气泵4通过第一进气管61和第二进气管62将气罐3里的刻蚀气体输送给分子泵7,刻蚀气体通过分子泵7在反应罩5里对晶片进行刻蚀,刻蚀气体在自上而下对晶片进行刻蚀后,再通过反应罩5和气罐3之间连通的两个出气管8重新输送入气罐3的内部,两个出气管8有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀,刻蚀气体通过两个出气管8重新输送入气罐3的内部,进而形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用。

    使用方法:使用时,首先,工作人员接通液压机9的电源,将晶片放置在托物台11上,液压机9带动升降杆10上移,直至托物台11上的密封圈12与反应罩5抵触,关闭箱门2,其次,工作人员接通气泵4的电源,气泵4通过第一进气管61和第二进气管62将气罐3里的刻蚀气体输送给分子泵7,刻蚀气体通过分子泵7在反应罩5里对晶片进行刻蚀,最后,刻蚀气体在自上而下对晶片进行刻蚀后,再通过反应罩5和气罐3之间连通的两个出气管8重新输送入气罐3的内部,两个出气管8有利于刻蚀气体的流动,能够使刻蚀气体对晶片刻蚀的更加均匀,其中,刻蚀气体通过两个出气管8重新输送入气罐3的内部,进而形成一个循环,便于刻蚀气体的重复利用,气泵4的型号是2xz-0.25,液压机9的型号是cx-ls,分子泵7的型号是ff-160/700。

    安装方法:

    第一步、将箱体1、箱门2、气罐3、气泵4、反应罩5进行组装;

    第二步、将第一进气管61、第二进气管62、分子泵7、出气管8进行组装;

    第三步、将液压机9、升降杆10、托物台11、密封圈12进行组装,即完成安装。

    本实用新型所提供气泵4、液压机9、分子泵7的产品型号只是为本技术方案依据产品的结构特征进行的使用,其产品会在购买后进行调整与改造,使之更加匹配和符合本实用新型所属技术方案,其为本技术方案一个最佳应用的技术方案,其产品的型号可以依据其需要的技术参数进行替换和改造,其为本领域所属技术人员所熟知的,因此,本领域所属技术人员可以清楚的通过本实用新型所提供的技术方案得到对应的使用效果。

    尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


    技术特征:

    1.一种数字出版用刻蚀机,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的前端外表面铰接有箱门(2),所述箱体(1)的下端外表面固定安装有气罐(3)和液压机(9),所述液压机(9)位于气罐(3)的一侧,所述气罐(3)的上端外表面固定安装有气泵(4),所述气泵(4)与气罐(3)之间固定安装有第一进气管(61),所述气泵(4)通过第二进气管(62)固定连接有反应罩(5),所述反应罩(5)的上端内表面固定安装有分子泵(7),所述反应罩(5)的前后两端外表面与气罐(3)的前后两端外表面均固定安装有出气管(8),所述液压机(9)的上端外表面活动安装有升降杆(10),所述升降杆(10)的上端外表面固定安装有托物台(11),所述托物台(11)的上端外表面固定安装有密封圈(12)。

    2.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:所述箱门(2)的前端外表面固定安装有握把。

    3.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:所述气泵(4)、第一进气管(61)、第二进气管(62)、分子泵(7)、两个出气管(8)、气罐(3)和反应罩(5)的内部均连通。

    4.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:所述密封圈(12)为全氟橡胶,所述密封圈(12)为环形。

    5.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:所述密封圈(12)位于反应罩(5)的正下方,且其与反应罩(5)的下端外表面吻合。

    6.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:两个所述出气管(8)的规格相同,且其前后对应。

    7.根据权利要求1所述的一种数字出版用刻蚀机,其特征在于:所述气泵(4)、分子泵(7)、液压机(9)均与外接电源电性连接。

    技术总结
    本实用新型公开了一种数字出版用刻蚀机,包括箱体,所述箱体的前端外表面铰接有箱门,所述箱体的下端外表面固定安装有气罐和液压机,所述液压机位于气罐的一侧,所述气罐的上端外表面固定安装有气泵,所述气泵与气罐之间固定安装有第一进气管,所述气泵通过第二进气管固定连接有反应罩,所述反应罩的上端内表面固定安装有分子泵,所述反应罩的前后两端外表面与气罐的前后两端外表面均固定安装有出气管,所述液压机的上端外表面活动安装有升降杆,所述升降杆的上端外表面固定安装有托物台,所述托物台的上端外表面固定安装有密封圈。本实用新型,便于使刻蚀气体对晶片的刻蚀更加均匀,便于刻蚀气体的重复利用。

    技术研发人员:蔡竟龙
    受保护的技术使用者:福建省八月瓜科技服务有限公司
    技术研发日:2019.07.17
    技术公布日:2020.04.03

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