本实用新型涉及一种lpcvd配件，特别涉及一种插片石英舟。
背景技术：
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成的功能性或装饰性的金属、非金属化合物涂层。
lpcvd主要用于多晶硅、非晶硅、磷硅玻璃等多种薄膜的生长于沉积。
现有技术中，硅片单面镀膜时需要在石英槽内背对背放置两组硅片，现有的水平石英舟为了方便硅片的安插，开设的石英槽与端面之间具有一定倾斜角，但两个硅片之间无法完全贴合，贴合面容易被工艺气体接触而镀上膜，难以达到单面镀膜的效果。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种插片石英舟，该石英舟单面镀膜质量好，结构稳定性好，石英插片贴合度好。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：
一种插片石英舟，包括上下对称设置的底板和顶板，所述底板和顶板之间固定有支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四下端分别固定在底板上端面四个角处，且支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四上端分别固定在顶板下端面四个角处，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四外表面上均等距开设有多组插槽，所述插槽内安插有两组石英插片，两组所述石英插片紧密贴合，所述支撑柱一中部位置和支撑柱二中部位置固定把手一，所述支撑柱三中部位置和支撑柱四中部位置固定把手二。
优选的，所述顶板和底板的规格相同，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四的规格均相同，所述把手一和把手二的规格相同。
优选的，所述把手一和把手二下端面均设置凹面。
优选的，所述插槽个数为30个，且插槽与底板和顶板均平行设置。
采用上述技术方案，采用插槽与底板和顶板平行设置，使得背对背插入插槽内的石英插片紧密贴合，保证该贴合面不会被工艺气体接触而镀上膜，提高了单面镀膜的质量，支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三和支撑柱四的支撑和限位提高了石英插片安插的稳定性。
本实用新型单面镀膜质量好，结构稳定性好，石英插片贴合度好。
附图说明
图1为本实用新型的立体图；
图2为本实用新型未安插石英插片的状态图；
图3为图1中的a处局部放大图；
图4为图1中b处局部放大图。
图中1-底板，2-支撑柱一，3-把手一，4-支撑柱二，5-顶板，6-支撑柱三，7-把手二，8-支撑柱四，9-插槽，10-凹面，11-石英插片。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
参照附图1-图4，本实用新型提供一种插片石英舟，包括上下对称设置的底板1和顶板5，所述底板1和顶板5之间固定有支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6以及支撑柱四8，所述支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6以及支撑柱四8下端分别固定在底板1上端面四个角处，且支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6以及支撑柱四8上端分别固定在顶板5下端面四个角处，所述支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6以及支撑柱四8外表面上均等距开设有多组插槽9，所述插槽9内安插有两组石英插片11，两组所述石英插片11紧密贴合，所述支撑柱一2中部位置和支撑柱二4中部位置固定把手一3，所述支撑柱三6中部位置和支撑柱四8中部位置固定把手二7。
所述顶板5和底板1的规格相同，所述支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6以及支撑柱四8的规格均相同，所述把手一3和把手二7的规格相同。
所述把手一3和把手二7下端面均设置凹面10。
所述插槽9个数为30个，且插槽9与底板1和顶板5均平行设置。
本实用新型采用插槽9与底板1和顶板5平行设置，使得背对背插入插槽9内的石英插片11紧密贴合，保证该贴合面不会被工艺气体接触而镀上膜，提高了单面镀膜的质量，支撑柱一2、支撑柱二4、支撑柱三6和支撑柱四8的支撑和限位提高了石英插片11安插的稳定性。
本实用新型单面镀膜质量好，结构稳定性好，石英插片11贴合度好。
以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。
1.一种插片石英舟，其特征在于：包括上下对称设置的底板和顶板，所述底板和顶板之间固定有支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四下端分别固定在底板上端面四个角处，且支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四上端分别固定在顶板下端面四个角处，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四外表面上均等距开设有多组插槽，所述插槽内安插有两组石英插片，两组所述石英插片紧密贴合，所述支撑柱一中部位置和支撑柱二中部位置固定把手一，所述支撑柱三中部位置和支撑柱四中部位置固定把手二。
2.根据权利要求1所述的一种插片石英舟，其特征在于：所述顶板和底板的规格相同，所述支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三以及支撑柱四的规格均相同，所述把手一和把手二的规格相同。
3.根据权利要求1所述的一种插片石英舟，其特征在于：所述把手一和把手二下端面均设置凹面。
4.根据权利要求1所述的一种插片石英舟，其特征在于：所述插槽个数为30个，且插槽与底板和顶板均平行设置。
技术总结