本实用新型涉及一种用于化学气相沉积炉的进气管装置，属于沉积炉用进气管技术领域。
背景技术：
目前大型化学气相沉积炉气体预热装置采用多层、多孔石墨板，预热过程容易沉积部分热解碳，时间久了容易造成孔隙堵塞，增加设备维保成本，制约沉积效率。因此，如何将气体充分预热，减少大量的孔隙清理工作为本领域需要解决的技术问题。
技术实现要素：
本实用新型针对针对现有气相沉积炉中通入的热解气预热不充分、及现有使用多孔石墨板预热热解气容易造成石墨板的孔堵塞的问题，提供一种用于化学气相沉积炉的进气管装置。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，包括底座、套管、上气管和保护管；所述的底座具有带螺纹的沉孔，沉孔的底部具有通孔；所述的套管包括管体，管体的一端为带有外螺纹的连接部，管体的另一端设置炉体连接部，炉体连接部具有内螺纹孔，且管体位于炉体连接部的端部具有内螺纹，炉体连接部内螺纹孔的直径大于管体的外径，管体的侧壁上设置有进气管；所述的上气管的一端具有外螺纹，且上气管的管壁上设置有多个气孔；所述的保护管具有保护管管体和设置于保护管管体端部的卡环；保护管的卡环放置在底座的沉孔内，套管套装在保护管的保护管管体上并由连接部与沉孔螺纹连接，上气管套装在保护管的保护管管体上且上气管的螺纹端插入炉体连接部内与管体螺纹连接。上述结构是通过如下步骤安装的：首先上气管的螺纹端插入炉体连接部内与管体内螺纹连接，然后炉体连接部与炉体连接，保护管由套管底部插入，最后将卡环置于底座的沉孔内固定，这样需要检修时可以直接将保护管从底部抽出，而不影响其他部件，减少反复安装和操作。
在上述技术方案的基础上，本实用新型为了达到使用的方便以及装备的稳定性，还可以对上述的技术方案作出如下的改进：
进一步，所述保护管管体的外径小于管体的内径。可以将热电偶安装在保护管内，用于检测温度。
进一步，所述的上气管与套管长度的和小于保护管的长度。
进一步，所述的上气管使用的材料为石墨。上气管可以对气体充分预热，侧面均布的出气孔可以增大气体扩散面积。石墨材料耐高温，可以重复使用。上气管位于炉体的内部，随着炉体一起加热，裂解气由进气管通入，经过管体和保护管管体之间的缝隙向上流动，由于气体流通管路较长且上气管与保护管间的间隙小，可以迅速的将热解气进行预热。
进一步，所述的套管、底座和保护管使用的材料为钢。
本实用新型的优点在于：提供一种多功能的适用于大型化学气相沉积炉的进气管装置，具有进气、预热、开孔测温等优点，可以将气体充分预热，无需大量清理工作，减少了维保成本，提高了沉积效率；本申请的装置集进气、预热、开孔测温等优点为一体，且便于拆卸、组装简单。对比传统多层、多孔石墨板进气预热系统，解决了经常发生的孔隙堵塞问题，而且结构简单便于安装和维修。
附图说明
图1为本申请的用于化学气相沉积炉的进气管装置的结构示意图；
图2为本申请的用于化学气相沉积炉的进气管装置的剖视图；
图3为图1中套管的结构示意图；
图4为图1中的底座的结构示意图；
图5为图1中的上气管的结构示意图；
图6为图1中的保护管的结构示意图；
图7为本申请的于化学气相沉积炉的进气管装置与气相沉积炉连接状态示意图。
附图标记记录如下：1-套管，1.1-管体，1.2-连接部，1.3-炉体连接部，1.4-集气管，2-底座，2.1-沉孔，2.2-通孔，3-上气管，4-保护管，4.1-保护管管体，4.2-卡环。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
一种用于化学气相沉积炉的进气管装置(参见图1-5)，包括底座2、套管1、上气管3和保护管4；所述的底座2具有带螺纹的沉孔2.1，沉孔2.1的底部具有通孔2.2；所述的套管1包括管体1.1，管体1.1的一端为带有外螺纹的连接部1.2，管体1.1的另一端设置炉体连接部1.3，炉体连接部1.3具有内螺纹孔，且管体1.1位于炉体连接部1.3的端部具有内螺纹，炉体连接部1.3内螺纹孔的直径大于管体1.1的外径，管体1.1的侧壁上设置有进气管1.4；所述的上气管3的一端具有外螺纹，且上气管3的管壁上设置有多个气孔；所述的保护管4具有保护管管体4.1和设置于保护管管体4.1端部的卡环4.2；保护管4的卡环4.2放置在底座2的沉孔2.1内，套管1套装在保护管4的保护管管体4.1上并由连接部1.2与沉孔2.1螺纹连接，上气管3套装在保护管4的保护管管体4.1上且上气管3的螺纹端插入炉体连接部1.3内与管体1.1螺纹连接。
在上述的实施例的基础上，还可以做如下针对性的改进，以下改进可以单独和组合实施：
上述保护管管体4.1的外径小于管体1.1的内径。
上述的上气管3与套管1长度的和小于保护管4的长度。
上述的上气管3使用的材料为石墨。
上述的套管1、底座2和保护管4使用的材料为钢。
使用的时候(参见图6)，本申请的进气管装置通过炉体连接部1.3的内螺纹与炉体上预设的连接管螺纹连接，上气管3和保护管4的上部置于沉积炉沉积室内，其他部分位于沉积炉沉积室外，向进气管1.4通入裂解气后，裂解气经过管体1.1和保护管管体4.1之间的缝隙向上流动，由上气管端部及管壁上均布的气孔流出。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，包括底座(2)、套管(1)、上气管(3)和保护管(4)；所述的底座(2)具有带螺纹的沉孔(2.1)，沉孔(2.1)的底部具有通孔(2.2)；所述的套管(1)包括管体(1.1)，管体(1.1)的一端为带有外螺纹的连接部(1.2)，管体(1.1)的另一端设置炉体连接部(1.3)，炉体连接部(1.3)具有内螺纹孔，且管体(1.1)位于炉体连接部(1.3)的端部具有内螺纹，炉体连接部(1.3)内螺纹孔的直径大于管体(1.1)的外径，管体(1.1)的侧壁上设置有进气管(1.4)；所述的上气管(3)的一端具有外螺纹，且上气管(3)的管壁上设置有多个气孔；所述的保护管(4)具有保护管管体(4.1)和设置于保护管管体(4.1)端部的卡环(4.2)；保护管(4)的卡环(4.2)放置在底座(2)的沉孔(2.1)内，套管(1)套装在保护管(4)的保护管管体(4.1)上并由连接部(1.2)与沉孔(2.1)螺纹连接，上气管(3)套装在保护管(4)的保护管管体(4.1)上且上气管(3)的螺纹端插入炉体连接部(1.3)内与管体(1.1)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，所述保护管管体(4.1)的外径小于管体(1.1)的内径。
3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，所述的上气管(3)与套管(1)长度的和小于保护管(4)的长度。
4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，所述的上气管(3)使用的材料为石墨。
5.根据权利要求1或者4所述的用于化学气相沉积炉的进气管装置，其特征在于，所述的套管(1)、底座(2)和保护管(4)使用的材料为钢。
技术总结