本实用新型涉及半导体制造设备领域，更具体而言，本实用新型涉及自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备。
背景技术：
当前行业内普遍使用的尾气处理设备(scrubber)主要包括三种：干式、湿式和组合式，干式尾气处理设备中采用活性炭等媒介吸附的方法进行吸收或者燃烧方式除去废气，而湿式的尾气处理设备中采用用水吸收或者酸碱液吸收，而组合式一般设计为燃烧水洗或者电热水洗。一般腔室在进行反应时会产生大量粉尘，经真空泵吸后流向尾气处理设备中，在水洗时会留在尾气处理设备的水槽中。
图1示出现有的尾气处理设备100的示意图。如图1所示，工艺气体进入尾气处理设备100后发生燃烧反应或其他类型的反应，产生大量粉尘颗粒。尾气处理设备100采用的是重力沉降法沉积粉尘颗粒，大量的粉尘颗粒沉积在水槽110中。水槽110中的水通过循环管道，对气体进行水洗，以清除气体中的粉尘颗粒。这种方法的缺点是需要定期清理水槽110中的粉尘颗粒，造成设备的关机，减少设备的有效工作时间，同时尾气处理设备重新启动时会出现点火失败等一系列原因。
技术实现要素：
针对现有技术中存在的上述问题，根据本实用新型的一个方面，提供一种自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，包括：
水槽，带有粉尘颗粒的水在水槽中；
水泵，所述水泵与所述水槽的排水口相连；以及
水旋器，所述水旋器与所述水泵的另一端相连，所述水泵将水槽中带有粉尘颗粒的水排入水旋器的入口，水旋器还具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉尘颗粒稠化的水。
在本实用新型的一个实施例中，该自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备还包括再处理设备，所述再处理设备的入口接收粉尘颗粒稠化的水，所述再处理设备采用挤压法，对水旋器的排沙口排出的水进行挤压处理，剩下的残渣直接更换即可。
在本实用新型的一个实施例中，自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备还包括反应室、水洗室和循环水管道，所述反应室、水洗室和水槽成u型并彼此连通，水槽在反应室和水洗室的下方，待处理气体通过反应室入口进入反应室，并在反应室内发生反应，产生粉尘颗粒，一部分粉尘颗粒沉降到水槽中的水中，一部分粉尘颗粒在水洗室中被喷洒的水带入水槽中，随后气体从水洗室出口排出；所述溢流口排出的水以及再处理设备挤出的水进入循环水管道，并从水洗室中喷洒出来。
在本实用新型的一个实施例中，所述再处理设备包括挤压盘和过滤膜，挤压盘对水旋器的排出的水进行挤压处理，使得一部分水通过过滤膜被挤出进入循环水管道。
在本实用新型的一个实施例中，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸为1-5微米。
在本实用新型的一个实施例中，所述水槽为多个水槽。
在本实用新型的一个实施例中，所述水旋器包括中位于上部的中空的圆筒、位于下部的与圆筒相通的倒椎体、从圆筒侧面进入的入口、圆筒顶部的溢流口和倒椎体底部的排沙口。
附图说明
为了进一步阐明本实用新型的各实施例的以上和其它优点和特征，将参考附图来呈现本实用新型的各实施例的更具体的描述。可以理解，这些附图只描绘本实用新型的典型实施例，因此将不被认为是对其范围的限制。在附图中，为了清楚明了，相同或相应的部件将用相同或类似的标记表示。
图1示出现有的尾气处理设备100的示意图。
图2示出根据本实用新型的一个实施例的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备200的示意图。
图3示出根据本实用新型的一个实施例的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备300的示意图。
图4示出根据本实用新型的一个实施例的水旋器400的示意图。
图5示出根据本实用新型的一个实施例的再处理设备500的示意图。
具体实施方式
在以下的描述中，参考各实施例对本实用新型进行描述。然而，本领域的技术人员将认识到可在没有一个或多个特定细节的情况下或者与其它替换和/或附加方法、材料或组件一起实施各实施例。在其它情形中，未示出或未详细描述公知的结构、材料或操作以免使本实用新型的各实施例的诸方面晦涩。类似地，为了解释的目的，阐述了特定数量、材料和配置，以便提供对本实用新型的实施例的全面理解。然而，本实用新型可在没有特定细节的情况下实施。此外，应理解附图中示出的各实施例是说明性表示且不一定按比例绘制。
在本说明书中，对“一个实施例”或“该实施例”的引用意味着结合该实施例描述的特定特征、结构或特性被包括在本实用新型的至少一个实施例中。在本说明书各处中出现的短语“在一个实施例中”并不一定全部指代同一实施例。
针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种可以自动清理水槽中粉尘的设计。图2示出根据本实用新型的一个实施例的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备200的示意图。如图2所示，尾气处理设备200可包括反应室210、水洗室220、水槽230、泵240、水旋器250以及再处理设备260。反应室210、水洗室220和水槽230成u型并彼此连通，水槽230在反应室210和水洗室220的下方。待处理气体通过入口211进入反应室210，并在反应室210内发生反应，产生粉尘颗粒。一部分粉尘颗粒沉降到水槽230中的水中，一部分粉尘颗粒在水洗室220中被喷洒的水带入水槽230中。随后气体从出口221排出。
水槽230具有排水口231，排水口231与水泵240连接。排水口231可以设置在水槽230的底部或侧面。水泵240的另一端与水旋器250相连。
水泵240将水槽230中带有粉尘颗粒的污水排入水旋器250的入口。水旋器250还具有溢流口和排沙口，下文中将会进一步详细描述。污水经水旋器250处理后，溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸为1-5微米，而尾气处理设备的水循环系统要求颗粒尺寸小于50微米。因此，能够符合尾气处理设备中循环水的要求。溢流口排出的水进入循环水管道270，然后流入水洗室220。水旋器250的排沙口与再处理设备260的入口相连。再处理设备260可采用挤压法，对水旋器的排出的水进行挤压处理，使得被挤出的一部分水再循环进入循环水管道270，剩下的残渣直接更换即可。
图3示出根据本实用新型的一个实施例的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备300的示意图。尾气处理设备300与图2所示的尾气处理设备200类似，不同之处在于多个水槽310至330共用一个水循环系统。
图4示出根据本实用新型的一个实施例的水旋器400的示意图。如图4所示，水旋器400包括上部中空的圆筒410、下部与圆筒相通的倒椎体420。二者组成水旋器400的工作筒体。水旋器400还包括位于圆筒410侧面的入口430、圆筒410顶部的溢流口440和倒椎体底部的排沙口450。
泵以一定压力和流速将含有粉尘颗粒的污水沿切线方向旋入圆筒410，悬浮液以较高的速度由入口430沿切线方向进入水旋器400，由于受到外筒壁的限制，迫使液体做自上而下的旋转运动，通常将这种运动称为外旋流或下降旋流运动。外旋流中的固体颗粒受到离心力作用，如果密度大于四周液体的密度，它所受的离心力就越大，一旦这个力大于因运动所产生的液体阻力，固体颗粒就会克服这一阻力而向器壁方向移动，与悬浮液分离，到达器壁附近的颗粒受到连续的液体推动，沿器壁向下运动，到达排沙口附近聚集成为大大稠化的悬浮液，从排沙口450排出。分离净化后的液体旋转向下继续运动，进入圆锥段后，因旋液分离器的内径逐渐缩小，液体旋转速度加快。由于液体产生涡流运动时沿径向方向的压力分布不均，越接近轴线处越小而至轴线时趋近于零，成为低压区甚至为真空区，导致液体趋向于轴线方向移动。同时，由于旋液分离器底流口大大缩小，液体无法迅速从底流口排出，而旋流腔顶盖中央的溢流口，由于处于低压区而使一部分液体向其移动，因而形成向上的旋转运动，并从溢流口排出。溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸为1-5微米。
图5示出根据本实用新型的一个实施例的再处理设备500的示意图。如图5所示，再处理设备500包括挤压盘510和过滤膜520。挤压盘510对水旋器的排出的水进行挤压处理，使得一部分水通过过滤膜520被挤出进入循环水管道，剩下的残渣直接更换即可。
尽管上文描述了本实用新型的各实施例，但是，应该理解，它们只是作为示例来呈现的，而不作为限制。对于相关领域的技术人员显而易见的是，可以对其做出各种组合、变型和改变而不背离本实用新型的精神和范围。因此，此处所公开的本实用新型的宽度和范围不应被上述所公开的示例性实施例所限制，而应当仅根据所附权利要求书及其等同替换来定义。
1.一种自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，包括：
水槽，带有粉尘颗粒的水在水槽中；
水泵，所述水泵与所述水槽的排水口相连；以及
水旋器，所述水旋器与所述水泵的另一端相连，所述水泵将水槽中带有粉尘颗粒的水排入水旋器的入口，水旋器还具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉尘颗粒稠化的水。
2.如权利要求1所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，还包括再处理设备，所述再处理设备的入口接收粉尘颗粒稠化的水，所述再处理设备采用挤压法，对水旋器的排沙口排出的水进行挤压处理，剩下的残渣直接更换即可。
3.如权利要求2所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，还包括反应室、水洗室和循环水管道，所述反应室、水洗室和水槽成u型并彼此连通，水槽在反应室和水洗室的下方，待处理气体通过反应室入口进入反应室，并在反应室内发生反应，产生粉尘颗粒，一部分粉尘颗粒沉降到水槽中的水中，一部分粉尘颗粒在水洗室中被喷洒的水带入水槽中，随后气体从水洗室出口排出；所述溢流口排出的水以及再处理设备挤出的水进入循环水管道，并从水洗室中喷洒出来。
4.如权利要求2所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，所述再处理设备包括挤压盘和过滤膜，挤压盘对水旋器的排出的水进行挤压处理，使得一部分水通过过滤膜被挤出进入循环水管道。
5.如权利要求1所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸为1-5微米。
6.如权利要求1所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，所述水槽为多个水槽。
7.如权利要求1所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，所述水旋器包括中位于上部的中空的圆筒、位于下部的与圆筒相通的倒椎体、从圆筒侧面进入的入口、圆筒顶部的溢流口和倒椎体底部的排沙口。
技术总结